产品详情
无尘工业烤箱 广泛应用于精密电子制造、半导体晶圆制造，大规模集成电路，生物制造，洁净实验室，航天航空等众多工业领域。
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
无尘烤箱规格表
| 型号 | MOL-1F | MOL-1ND | MOL-2ND | MOL-3ND | MOL-4ND | MOL-2DF | MOL-5F | MOL-6S | MOL-7F | MOL-8WS | MOL-9WS |
| 内尺寸 WxDxH(mm) |
300*400*400 | 450*400*400 | 500*500*600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 600*600*1000 (单箱尺寸) | 800*800*800 | 1200*600*1100 | 1200*700*1300 | 840*710*1530 (单箱尺寸) | 1010*740*1510 (单箱尺寸) |
| 外尺寸 WxDxH(mm) |
560*840*980 | 710*840*980 | 860*940*1280 | 860*1150*1780 | 1060*1250*1880 | 1500*860*1760 | 1390*1080*1600 | 1800*850*1730 | 1960*1015*2140 | 3160*1215*2455 | 3340*900*2458 |
| 电力 | 3KVA | 3KVA | 5KVA | 6KVA | 7KVA | 7KVA | 7KVA | 6KVA | 20KVA | 24KVA | 26KVA |
| 温度范围 | 常温-- 200℃ （300℃） | ||||||||||
| 均匀度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ |
| 进气量 | N2 或 Clean Air Max.100L/min | ||||||||||
| 过滤效率 | 99.99% | ||||||||||
| 洁净度 | 100 级 | ||||||||||
| 排气口 | φ3 自动 | φ3 自动 | φ3 自动 | φ5 自动 | φ5 自动 | φ5 自动 | φ3 自动 | φ5 自动 | φ5 自动 | φ5 自动 | φ5 自动 |
| 选配 | 六点式温度测试仪，打印机，温度巡检仪，触摸屏，USB及电脑监控，多段可编程控制器，RS485接口和通讯软件，无线报警系统，U盘数据储存 | ||||||||||
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